日前，我國集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域已經(jīng)基本實現(xiàn)了核心裝備國產(chǎn)化。背景經(jīng)濟開發(fā)區(qū)集成電路廠商中芯國際目前已經(jīng)運用過國產(chǎn)設(shè)備進行晶圓加工，并突破一千萬片次。這意味著我國自主研發(fā)的設(shè)備在集成電路生產(chǎn)中得到了驗證，國產(chǎn)設(shè)備的市場競爭力與技術(shù)實力將會進一步得到認可，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的整體實力也有望得到大幅提升。
以中芯國際的集成電路生產(chǎn)線為例，其工藝制造需要較高的精度與復(fù)雜程度，尤其是芯片生產(chǎn)方面，需要電子、機械、軟件、材料與控制等多個學(xué)科的相互配合，因此具有較高的技術(shù)含量。而相關(guān)的技術(shù)，尤其是離子注入、光刻、薄膜、氧化機等設(shè)備，其關(guān)鍵技術(shù)都掌握在歐美等少數(shù)公司手中。但是如今，經(jīng)過幾年的發(fā)展，一些國產(chǎn)的電子專用設(shè)備正逐漸向我國集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域覆蓋。
可以說，我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)是各類電子專用設(shè)備。在全球制造業(yè)向我國轉(zhuǎn)移的過程中，電子信息產(chǎn)業(yè)目前已經(jīng)得到了較為長足的進步。并且，電子專用設(shè)備也相應(yīng)得保持了較高的增長速度。
盡管當(dāng)下產(chǎn)業(yè)在我國已經(jīng)取得了較大的發(fā)展成績，但是總體來看，目前產(chǎn)業(yè)規(guī)模依舊較小，自主創(chuàng)新的能力有待提高，在高端設(shè)備開發(fā)方面相對來說還是較為落后。另外，由于我國本土電子專用設(shè)備企業(yè)的實力不強，造成一些產(chǎn)品雖然具有較高性價比，但是由于可靠性差，導(dǎo)致市場占有率較低。
再者，電子專用設(shè)備生產(chǎn)環(huán)節(jié)來說，由于產(chǎn)品與后續(xù)的制造工藝緊密相關(guān)，因此其裝備制造水平也嚴(yán)重影響了下游產(chǎn)品的質(zhì)量。但是當(dāng)下由于我國電子專用設(shè)備開發(fā)并沒有與下游電子產(chǎn)品的制造環(huán)節(jié)形成聯(lián)動，間接地也影響了技術(shù)成果的轉(zhuǎn)化。
總體來看，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展水平仍舊較為落后，與發(fā)達國家相比存在一定的差距，而且，不少關(guān)鍵設(shè)備仍舊需要進口。
因此，面對這種狀況，工信部也專門引發(fā)了《電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)規(guī)劃》，對產(chǎn)業(yè)發(fā)展提出了集中力量土坯、開發(fā)具有市場競爭力、滿足國家重大戰(zhàn)略需求的關(guān)鍵產(chǎn)品，并推動產(chǎn)品進入生產(chǎn)線，提升市場自給率的措施。
鐘小姐
